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采用感應(yīng)加熱方式的真空爐，升溫速率快。

選用硅鉬棒作為加熱元件，氧化鋁纖維為保溫材料，可充入氧氣氣氛，可用作材料的氧化、燒結(jié)、退火等工藝。

真空燒結(jié)爐是用石墨作發(fā)熱元件的真空電阻爐，在抽真空狀態(tài)下，石墨電阻產(chǎn)生熱量，使?fàn)t腔內(nèi)產(chǎn)生高溫，通過熱輻射傳導(dǎo)到材料上，適用于科研、軍工單位對難熔合金如鎢、鉬及其合金的粉末成型燒結(jié)。

真空燒結(jié)爐是用石墨作發(fā)熱元件的真空電阻爐，專門碳化物、氮化物及氧化物陶瓷在真空或保護(hù)氣氛中燒結(jié)成制品，也可用于金屬材料的熱處理。主要應(yīng)用于電容、鉭材等金屬及由難熔金屬組成的合金材料、陶瓷材料碳化硅及氮化硅的高溫?zé)Y(jié)、也可以供金屬材料在高真空條件下的高溫?zé)崽幚砘蛸F金屬材料的除氣處理。